半导体加工工艺流程

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精密微孔加工
CMP (化学机械抛光)

精密研磨的实现是由转台轴承布置来保证的。

对于推力角接触球轴承单元ZKLDF的生产过程，INA的精密度是独一无二的：P4 精度。这是加工完成的轴承单元几何和运转精度的范围。我们在很高的精度范围内进行精密磨削，因此，您可以随后在纳米范围内进行研磨和抛光操作。

高速研磨和抛光台的低振动轴承布置方案采用INA的转台轴承总能令您获益。由于几何尺寸稳定和单一外圈而提高了整体刚度和精度是整体解决方案的一个优点。其他令人信服的优点包括例如，由于内圈和外圈法兰装配而易于安装的优点，和很高的极限转速。

最后但不是最不重要的，成本也是您不可忽视的因素……我们提供的转台轴承在生产过程中设定了特定预载，并且仅需要用螺栓简单安装，而不需要进行额外的调整工作。这是一个全面的具有成本效益的产品，不是吗？

拉单晶

需求：可靠的运动过程

在圆晶片离开生产线之前，单晶硅必须经过无数次工艺操作……从单晶硅拉伸工艺开始。

单晶硅拉伸机械需要无振动、稳定一致的进给运动。对此INA能做些什么？

满足这些需求的定制方案，例如，我们免维修的四列直线球轴以及导轨组件KUVE。稳定一致的低移动阻力允许它们在极低速情况下实现稳定一致的精确和恒速进给，而这正是硅棒拉伸所必需的。

晶片切割

高精度晶片

在加工过程中，硅棒立即与锯床接触，例如栓孔锯。在这一应用中，您可以找到INA的微型四列滚珠直线导轨组件KUME 。

多仞锯的进料区域的工况十分恶劣。由碳化硅和脂组成的混合物浆液是切割过程中所需的，但却降低了所有部件的寿命。所幸的是，INA提供的KUME导轨具有标准的防腐设计。

因此，您有成百上千的理由为切片锯选择INA的微型导轨系统：高刚性高精度，均匀一致的低移动阻力，以及可经端盖润滑。另外，您还可以达到比之采用传统直线导轨系统好的多的成本效益。我们给您提供的是预载的、即用即装的单元。

n个栓孔锯以及切片锯，必须支持大量直线和旋转形式的不同运动。INA提供技术和经济上优化的所有解决方案——从单一制造商获得的完整解决方案。

针对该领域INA其他的轴承布置，包括滚针轴承——针对例如在切片锯中的高刚性滚子轴承或是转盘轴承。

结合

我们制造连接

只有在焊线时的正确的连接使得芯片与其外部环境的电接触可能实现。建立这样的连接是以闪电般的速度精确地进行的。即使在定位时发生最小的错误，整个芯片也会报废。这有赖于在X-Y工作台的驱动中使用正确的部件。

例如，此包括磨削加工过的INA行星滚子丝杠RGT系列…与微型保持架导轨单元RMWE联合，它们非常适合应用于芯片焊接或是引线焊接中的高频，短行程往复运动。细牙螺纹轴可以精确定位。如果这仍旧不能满足您的要求，我们可以向您提供已预载的设计。对于最精确的定位，

让我们进一步说明。您可以将INA的丝杠驱动部件整合到您的丝杠驱动系统中以创建一个完整的子系统。例如，将我们的推力角接触球轴承单元ZKLR作为定位端轴承，一个锁紧螺母和一个滚针轴承作为非定位端轴承。 或者是另一种不同的组合…无论采用哪一种方案——来自同一供应商的元件可以完全相互匹配。

如果您的X—Y工作台需要高精度经济的导向系统，您也可以在您的最终候选清单上添加我们的四列微型直线球轴承以及导轨组件。INA解决方案高精密和经济性的优势是难以撼动的。

光刻

适用于X——Y轴工作台的高精密直线导引系统

为了在芯片上创建结构，晶片表面镀上了一层薄的感光材料。感光材料通过掩膜并在光照射时分解。

下一代的半导体生产的目标将会是生产出低于60nm的结构从而达到更高存储密度以及更快的开关速度。

通过直线电机驱动的X-Y坐标工作台移动基片以及投影掩模。机器固定在一个刚性且隔振的大理石基座上，并且采用高精度的导轨系统，例如INA的直线滚子轴承和导轨组件RUE。极低噪音的导引系统特点是其均一的运转和位移阻力——为了实现高的定位精度和重复定位精度。

装配

迅速而精确一个接一个

芯片、电阻器、电容器、晶体管——可以小到只有几十个微米的元件。现代装配系统可以达到每小时120,000个装配操作，并且装配线每小时完成2000个电路板的装配——大批量一件接一件的精密装配。

因此，很容易想到的是，运转过程中每一个动作都必须高精度和高可靠性。在每一个轴中，例如，x和y轴采用低维护要求的四列KUVE系列直线导轨系统

如果需要实现高精密的定位，可以采用INA/HYDREL提供的微型平板保持架导轨系统RWS系列－－恰恰适用于装配作业中的有限行程的经济化设计。被圆柱滚子平面保持架分离的导轨系统可以进行极为精密的、低摩擦的运动。由于两个运动零件（间隙密封）之间的间隙非常小，所以通常不需要额外的密封。运转平稳、高承载能力和长寿命是此导轨系统非常适合于你的电子工业应用的原因。

钻和铣

我们提供正确的驱动

您可以想象在您坚硬的地下每小时挖出216米长的通道吗?尤其是它还不到1毫米宽?这对于人类来说是不可能的任务。但是对于在电路板制样的钻铣床来说则不成问题。

在每个加工作业中，钻铣头以快速而高精确度、不断加速和减速的方式运动。似乎INA的直线球轴轴承和轴承座单元正是为满足这些需求而制造的。由于直线球轴承的平稳运行，INA的轴导轨系统只需要很少的能量就可以在每个操作完成后很快再次启动。

由于所有的元件来自同一制造商，对于单一部件——轴承、轴和轴承座——相互之间可以最佳匹配并可实现即用即装。当然，INA的这种设计是完全免维护的

回流焊接

INA"无形帮手"的功能可靠性

在每个电路板上都有芯片在各自的位置。必须最后经过软钎焊炉使其与周围的每个零件正确连接。

现代的回流焊接厂可以进行经济规模化生产。条件苛刻的软钎焊工艺需要不间断而且功能可靠的电路板传送链。每天24小时，INA的"无形帮手"用在这里，比如说采用滚针作为滚动体的带柄滚轮。他们在很大的温度范围内都可以保证恒定的运输速度。

但是，高温高热仅仅是一个方面。软钎焊炉的真空也同样极具挑战，因为在这里轴承无法进行润滑。因此，部件需要非常良好的干运行特性。例如，用于滑动引导防锈阀的INA冲压外圈滚针轴承，经过了镀银处理并且未注脂。

处理系统

有我们，装运作业就很容易！

虽然被称为“装运作业”，但实际中却用不到人手。因为作业过程是高度自动化的，并且有时是在洁净厂房中进行的。并且昼夜连续运行。

确为确保所有的装运作业以高重复精度和高可靠性精确地进行，就需要合适的机构。例如，INA的球轴承。轻质又运行平稳，确保了高定位精度。如果需要更高的额定承载能力，您可以使用我们的转盘轴承。

如果需要直线度以及平行性，我们也有简单而有效的产品－我们的滚轮导轨系统。它们可以满足您的所有需求：INA增强成本效益的免维护直线单元——其只需简单地螺栓安装。其同样适用于曲线运动轨迹。

测量及检测

针对显微镜和相机

置信度高。控制则更优。该原则适用于整个半导体和电路板的生产领域。全面的测量和检测－－光学的、电的或甚至是X射线－－确保每个独立操作的顶尖质量。这里，精度需要达到纳米级尺度。

在这一点上有谁能比INA做的更好?特别地，请想想我们的滚针轴承。紧凑的结构和高精密